Ion beam trimmer
VTT Technical Research Centre of Finland Ltd
- Ilmoituksen laji
- Hankintapäätös
- Julkaistu
- 3.9.2026
Hankinnan tiedot
Tiedot ovat hankintayksikön ilmoituksesta sellaisinaan; menettely, toteutuspaikka ja CPV-koodin pääryhmä on nimetty suomeksi. Sanasto
Lähde: Hilma, ilmoitus 2026-056153.
- Hankinnan arvo
- 1 256 300 €
- Menettely
- Avoin menettely
- Mitä hankitaan
- Tavarat
- Hankinnan laji
- EU-hankinta
- Hankinnan ala (CPV-koodit)
- Laboratorio- ja tarkkuuslaitteet (38000000)
- Toteutuspaikka (NUTS)
- Helsinki-Uusimaa (FI1B1)
- Voittaja
- Sales Department (DE288142276)
Kuvaus
Hankintayksikön oma kuvaus hankinnasta.
Lähde: Hilma, ilmoitus 2026-056153. Liitteet ja yhteystiedot ovat alkuperäisessä ilmoituksessa.
Ion beam trimmer The object of the tender was 200 mm wafer particle beam trimming tool for VTT Micronova cleanroom semiconductor front end processing. The particle beam may be an ion beam, or a gas cluster beam, with a full width at half maximum within 3-15 mm.
The tool had to be compatible with installation in an ISO 4 classified cleanroom.
The object of the tender process was described in more detail in the invitation to tender documents.,