Defect inspection system
VTT Technical Research Centre of Finland Ltd
- Ilmoituksen laji
- Hankintapäätös
- Julkaistu
- 14.10.2026
Hankinnan tiedot
Tiedot ovat hankintayksikön ilmoituksesta sellaisinaan; menettely, toteutuspaikka ja CPV-koodin pääryhmä on nimetty suomeksi. Sanasto
Lähde: Hilma, ilmoitus 2026-059372.
- Hankinnan arvo
- 1 190 000 €
- Menettely
- Avoin menettely
- Mitä hankitaan
- Tavarat
- Hankinnan laji
- EU-hankinta
- Hankinnan ala (CPV-koodit)
- Laboratorio- ja tarkkuuslaitteet (38000000)
- Toteutuspaikka (NUTS)
- Helsinki-Uusimaa (FI1B1)
- Voittaja
- Confovis GmbH (HRB 504262)
Kuvaus
Hankintayksikön oma kuvaus hankinnasta.
Lähde: Hilma, ilmoitus 2026-059372. Liitteet ja yhteystiedot ovat alkuperäisessä ilmoituksessa.
Defect inspection system VTT is looking to acquire an automated defect inspection tool for 200 mm and 300 mm patterned wafers. The tool will enable rapid tracking of defects that appear during the manufacturing process of functional devices (in-line and end-of-line in the Front-end process). The tool must be capable of detecting particles, voids, cracks, scratches, pits, bumps, and hazes in the pattern. The materials of the patterns that the machine must be able to analyze are silicon oxides and nitrides, polysilicon, metals, and photoresist.
The object of the tender process and the technical requirements are described in more detail in the invitation to tender documents.,