Elektronilitografiapäivityspaketti kenttäemissio-pyyhkäisyelektronimikroskooppiin
- Ilmoituksen laji
- Hankintapäätös
- Julkaistu
- 25.2.2026
Hankinnan tiedot
Tiedot ovat hankintayksikön ilmoituksesta sellaisinaan; menettely, toteutuspaikka ja CPV-koodin pääryhmä on nimetty suomeksi. Sanasto
Lähde: Hilma, ilmoitus 2026-160144.
- Hankinnan arvo
- 70 000 €
- Mitä hankitaan
- Tavarat
- Hankinnan laji
- Kansallinen hankinta
- Hankinnan ala (CPV-koodit)
- Laboratorio- ja tarkkuuslaitteet (38000000)
- Toteutuspaikka (NUTS)
- Varsinais-Suomi (FI1C1)
- Voittaja
- RAITH GmbH (Dortmund HRB 8984)
Kuvaus
Hankintayksikön oma kuvaus hankinnasta.
Lähde: Hilma, ilmoitus 2026-160144. Liitteet ja yhteystiedot ovat alkuperäisessä ilmoituksessa.
Kyseessä on Raith Elphy Quantum -laajennusosan hankinta Turun yliopiston Thermo Scientific Apreo S -kenttäemissio-pyyhkäisyelektronimikroskooppiin, mahdollistaen elektronisädelitografian olemassa olevalla laitteistolla. Elektronisädelitografia täydentää yliopiston maskittomaan valmistukseen soveltuvaa infrastruktuuria, mahdollistamalla nanometrikokoluokassa olevien rakenteiden valmistuksen. Elphy Quantum -päivityspaketti sisältää tietokoneen, joka on laitevalmistajan (Raith GmbH, Saksa) puolesta varustettu lisäkortilla sekä ohjelmistolla, jolla voidaan ulkoisesti ohjata yliopiston Apreo-mikroskooppia. Tämän avulla on mahdollista käyttää elektronisädettä sopivien fotoresistien kanssa erilaisille substraateille haluttujen rakenteiden valottamiseen ilman maskeja.